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单选题 26. 光刻机是是制造芯片的核心装备。其曝光系统最核心的部件之一是( )。

A

红外光源

B

紫外光源

C

X射线光源

D

伽马射线光源

正确答案 :B

解析

【事考帮答案】B。考查科技常识。曝光系统最核心的部件之一是紫外光源。常见的光源包括紫外光(UV)、深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV)。故本题选B。